반도체 산업에 스테인레스 스틸 튜브 적용
스테인레스 스틸 튜브, 특히 고순도 심리스 스테인레스 스틸 튜브(316L, 316L EP, BA)는 주로 초순수 가스, 화학 물질, 초순수 이송 작업을 수행하는 반도체 제조 공장(Fab)에서 없어서는 안 될 핵심 기초 소재입니다.
반도체 칩 생산은 오염에 매우 민감합니다.
1. 입자 오염
2. 금속 오염
3. 수분 오염
4.유기물 오염(TOC)
나노미터 수준의 불순물이라도 웨이퍼 전체의 불량을 초래할 수 있습니다.
따라서 운송 시스템에는 다음이 있어야 합니다.
1.초고순도
2. 불순물 배출이 매우 적습니다.
3. 내식성
4. 파티클이 형성되지 않음
5.장기적이고 안정적인 업무 능력
그리고 전해연마(EP) 316L 스테인리스 스틸 튜브가 이제 주류 솔루션입니다.
주요 응용 프로그램 시나리오:
1. 특수 가스 공급 시스템
2. 초순수 시스템
3. 화학물질 공급 시스템
4. 진공 시스템
반도체 산업에서 널리 사용되는 스테인레스 튜빙 표준
| 이름 | 표준 |
| 소재 | 316L |
| 표준 | ASTM A269 |
| 초고순도 규격 | 세미 F20 |
| 표면 처리 | 학사, E.P. |
| 거칠기 | Ra ≤ 0.25μm |
| 용접방법 | 궤도용접 |
| 청결등급 | 클래스 100 / ISO 5 |
